真空镀膜设备氦气检漏仪使用方法详解

一、氦气检漏仪的工作原理

氦气检漏仪通过向待检测的系统中充入氦气，利用氦气分子小、渗透力强的特点，检测系统中的泄漏点。氦气检漏仪的工作原理主要包括两个步骤：充气和检测。将氦气充入真空系统，通过检测仪检测氦气的泄漏情况，从而确定泄漏位置。

二、使用前的准备工作

在使用氦气检漏仪之前，需要做好以下准备工作：确保真空镀膜设备已关闭，将氦气检漏仪与待检测设备连接，检查检测仪是否正常工作。还需要准备一定量的氦气，以便进行检测。

三、氦气检漏仪的操作步骤

以下是使用氦气检漏仪的详细操作步骤：

1. 开启氦气检漏仪，进行预热，确保检测仪处于最佳工作状态。
2. 将氦气充入真空镀膜设备，观察系统压力变化。
3. 使用检测仪对设备进行扫描，寻找可能的泄漏点。
4. 在检测到泄漏点后，进行标记，以便后续维修。

四、注意事项与保养

在使用氦气检漏仪时，需要注意以下几点：确保操作环境安全，避免接触高温或高压设备；正确使用氦气，防止浪费；定期对检测仪进行保养，保持其灵敏度。具体保养措施包括：清洁检测仪，检查气体管路，更换消耗品等。

五、泄漏处理与设备维护

在检测到泄漏点后，需要及时进行处理。常见的泄漏处理方法有：焊接、密封、更换零部件等。同时，定期对真空镀膜设备进行维护，提高设备的运行效率和寿命。

六、

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