小型发热蒸镀仪

桌面小型蒸镀仪工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存； 

原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制； 

衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；       

衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等； 

保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果； 

真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色