带手套箱三源蒸发镀膜仪

简单介绍：

镀膜设备以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等

详情介绍：

一、设备性能： 

镀膜设备以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。 

二、设备基本结构： 

镀膜设备由真空室腔体，金属/有机源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架，电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。