真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。WY-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导,系统搭配控制软件,运行稳定可靠!
真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。WY-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导,系统搭配控制软件,运行稳定可靠!
真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。WY-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导,系统搭配控制软件,运行稳定可靠!