真空镀膜设备真空热处理是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热，然后在油或气体中淬火冷却的技术。
由于真空热处理时，工件基本不氧化，钢件不脱碳，采用通气对流加热方式还可使加热均匀，减少表面和心部的温差，从而也减少畸变。目前它已成为优质工模具不可或缺和首选的热处理工艺。更为可贵的是，真空热处理在生产过程中不会产生任何污染环境的物质，从而被大家公认属于清洁生产技术范畴。可以毫不夸张地说，真空热处理已成为当前先进热处理生产技术的主要标志。
在真空条件下加热工件，主要依赖辐射。由于辐射传热与温度的4次方成比例，所以在850℃以下辐射效果不高，工件加热速度很慢；
其次，因为金属材料中的某些合金元素在低压条件下加热时有蒸发损失现象，会造成表面合金元素的贫乏，以致影响其淬火后的表面层性能。对流加热技术是指先将真空镀膜设备真空炉炉膛抽到一定真空度，然后通以0．1—0．2MPa的惰性（Ar、He）、中性（N2）或还原性（H2）气体，并在充分搅动条件下施行加热，与在单纯真空条件下比较，加热速度至少可提高一倍以上。
高碳、高合金工模具钢真空镀膜设备真空加热奥氏体化后在惰性、中性或还原性气体中淬火冷却是惰性。中性或还原性气体中淬火冷却是保证质量的唯一可行途径。但是负压和常压下的气冷不能使大型工件或批量炉料都获得好的淬硬效果。一则气体本身也需要冷却，二则在有限体积条件下要增加气体的冷却能力，只有靠增加冷却气体的量，即提高冷却气体的压力来实现。
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