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直线伸缩驱动
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真空度优于10-11mbar波纹管线性移动接口为cf16或cf35驱动方式:手动、气动或电机


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真空度优于10-11mbar

波纹管线性移动

接口为cf16或cf35

驱动方式:手动、气动或电机


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