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磁控溅射阴极
磁控溅射阴极

磁控溅射阴极

2~4inch,可选角度和位移优于 10-11mbar,DC、RF和脉冲电源靶面进气,配置烟囱和挡板强磁和普磁版本可选


磁控溅射阴极.jpg

2~4inch,可选角度和位移

优于 10-11mbar,DC、RF和脉冲电源

靶面进气,配置烟囱和挡板

强磁和普磁版本可选


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