薄膜光学与镀膜技术

原理：

一、什么是光？

光是一种电磁波

• 可见光波长范围760~400nm

• 红外光波长范围0.76~1000um

• 紫外光波长范围10~400nm

二、什么是光学薄膜？

光学薄膜就是在光学元件上或独立基板上镀上特定的膜质来改变光波传递的特性。

Q：薄膜有什么特点？ 

光学薄膜由光的干涉作用达到效果

生活中的光学薄膜：

光学薄膜应用

光学薄膜在光学系统中的作用

提高光学效率减少杂光 ：提高光学效率 减少杂光  

实现光束的调整或再分配：光镜、分色镜

通过波长的选择性透过提高系统信噪比 ：截止滤光片 、带通滤光片

光学薄膜制作

制镀技术：

气态成膜法：化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）

液态成膜法：化学或电化学作用

磁控溅镀

特点：

• 利用磁场作用，提高溅镀速率

• 提高薄膜的品质

• 磁场会把电子偏离基板，故可以在一些较不耐温的基板上镀膜

• 可以做成连续的溅镀系统，连续工作 

离子束溅镀

特点：

• 制作的薄膜密度高，散射小

• 膜折射率稳定均匀，膜厚精准

• 可以配合其他制镀方法，提高制镀速率

• 增加了控制的自由度

离子束助镀

特点：

• 配以蒸镀或溅镀系统，提高镀膜速率

• 成膜纯度高，膜变得更缜密

• 光谱特性稳定

• 提高了膜层折射率的均匀性

  
  

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