一、真空系统
真空系统是真空蒸镀设备的核心部分,主要包括真空泵、真空计、阀门、真空室等组件。其主要功能是提供并维持所需的真空环境,确保蒸镀过程的顺利进行。
- 真空泵:用于抽取真空室内的气体,降低内部压力,达到所需的真空度。
- 真空计:用于测量真空室内的压力,确保蒸镀过程在适当的真空度下进行。
二、蒸镀系统
蒸镀系统是真空蒸镀设备的另一个重要部分,主要包括蒸发源、蒸发材料、加热器、传输机构等组件。其主要功能是实现材料的蒸发和沉积。
- 蒸发源:用于加热蒸发材料,使其蒸发成气体。
- 加热器:为蒸发源提供热量,确保材料能够顺利蒸发。
三、控制系统
虽然不是主要组成部分,但控制系统在真空蒸镀设备中起着至关重要的作用。它包括控制面板、程序控制器、传感器等,用于监控和调节整个蒸镀过程。
四、冷却系统
冷却系统通常包括水冷或风冷设备,用于冷却蒸镀室和蒸发源,防止设备过热。
五、安全保护系统
安全保护系统包括各种传感器和警报装置,用于监测设备运行状态,确保操作人员的安全。
通过以上分析,可以看出真空蒸镀设备的两大部分——真空系统和蒸镀系统,共同构成了一个精密复杂的系统,为材料蒸镀提供了必要的条件。深圳微仪真空技术有限公司致力于镀膜设备的真空镀膜是符合时代趋势、低污染、高质量的表面处理工艺,对于精密光学或是日常用品都是常见且重要的应用,它以真空技术为基础,在真空环境下利用PVD、CVD,将金属或化合物沉积在工件上,产生单层或多层薄膜开发及膜层技术的研发。
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