磁控溅射阴极
磁控溅射技术在光伏制造、ITO触屏、LOW-E、光学、半导体等各行业有广泛应用。溅射阴极一般为矩形平面和旋转圆柱结构，各有不同应用优势，在不同激励电源的驱动下，可以单靶、双靶使用，在多层复合膜的工艺情况，选用多靶组合使用。
UMO磁控溅射阴极全部自主研发设计制造，集成国际技术升级国产化，特点如下：
•磁流体真空旋转密封,长寿命低漏率
•长寿命的陶瓷旋转水密封装置
•非真空环境下的双向推力轴承,任意角度安装
•航空级大电流高耐磨贵金属电刷
•大流量循环冷却水设计，冷却可靠
•无需维护的全密封防水磁路结构
•电机驱动绝缘齿轮驱动，维护简便
•对水温、水流、传动实时监测和故障报警
•对靶材寿命和阴极异常工作进行监控和记录
•触屏显示参数和PLC控制,可进行本地和远程控制
•可集成工艺气体控制系统和靶电压监测系统
深圳微仪真空技术有限公司致力于镀膜设备的真空镀膜是符合时代趋势、低污染、高质量的表面处理工艺，对于精密光学或是日常用品都是常见且重要的应用，它以真空技术为基础，在真空环境下利用PVD、CVD，将金属或化合物沉积在工件上，产生单层或多层薄膜开发及膜层技术的研发。
为更多领域及产业类别的客户，提供各式客制化镀膜代工服务，以最专业的真空镀膜设备镀制最高质量的膜层，为您生产反射膜、抗反射膜、装饰性镀膜等产品和服务。任何镀膜加工问题，欢迎咨询，我们将以最佳效率回应您的需求！
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